【時報-台北電】半導體材料大廠崇越科技16日宣布捐贈半導體製程模型予清華大學半導體研究學院並簽訂簽署合作意向書（MOU）；崇越董事長潘重良在典禮上宣布，除了硬體模型捐贈外，未來5年將每年贊助300萬元、總計1500萬元，全力支持清大在創新人才的培育，期許學子能「從清華出發，前進產業、前進世界」。

崇越集團近年積極深化產學合作，今日由崇越集團副董事長賴杉桂、崇越科技董事長潘重良率領高階主管團隊，與清華大學半導體研究學院院長林本堅共同見證簽約儀式。

潘重良致詞時，推崇林本堅是半導體界的傳奇，當年發明的浸潤式微影技術，突破了乾式微影在45奈米的極限，利用純水當介質，讓製程得以繼續推進至7奈米、5奈米甚至更先進節點，「台積電能有今天的成就，都要歸功於林院長的發明」。

潘重良透露崇越在半導體產業深耕35年的歷程，回憶當年推動浸潤式光阻時，崇越團隊與台積電研發部門經常一同埋首於日本信越化學的研究所，耗時數月根據客戶需求調配光阻。從早期的40奈米、28奈米一路走到現在的3奈米、2奈米，甚至未來的A14、A10製程，信越化學的光阻材料始終緊隨台積電的發展腳步。

清大半導體研究學院院長林本堅則表示，崇越捐贈的半導體模型具有高度教育意義，過去參訪者若要了解晶圓廠運作，往往受限於無塵室的嚴格管制，且訪客進入也可能干擾生產或影響機密。如今透過這些精細模型，即便是非技術背景的訪客也能一目瞭然，成為雙方互補合作的良好起點。（新聞來源：中時即時 柳名耕）