【時報記者郭鴻慧台北報導】台積電(2330)2奈米即將量產，特氣供應廠台特化(4772)的矽乙烷、無水氟化氫(AHF)進入放量階段，受到多頭青睞，近期股價表現十分強勢，今日開高走高，盤中一度衝上265元，漲幅逼近9%，改寫歷史高，並帶動上櫃化學指數狂飆3.7%，成為盤面上的人氣焦點。

隨著半導體先進製程不斷演進，對特化材料環保要求提升，隨著客戶2奈米新產能開出，台特化自行開發矽乙烷今年將進入快速量產期，法人預估，未來3年可望快速大幅跳增，至於AHF在今年首季將開始對營收做出貢獻，2025年營收有機會突破10億元的大關。

半導體線徑進入2奈米，半導體線徑微縮的物理極限已至，需要由化學特性來補足物理特性不足，矽甲烷的化學反應性已無法符合需求，矽乙烷化學特性效果比矽甲烷更好，於晶圓上可做更多蝕刻電路，平滑度及反應溫度更佳，符合2奈米及以下應用。法人預期，台特化矽乙烷今年營收貢獻可望有高雙位數成長空間。

台特化在去年開發出新產品無水氟化氫(AHF)為先進半導體製程中非常重要的乾式蝕刻與清潔特氣原料，主要應用於晶圓沉積薄膜蝕刻與機台設備內矽類殘留晶體的清潔移除，具有優異的選擇率及向性可應用於更先進的製程。法人也看好此部分的營運成績表現。